干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油。
干式螺桿真空泵的性能特點(diǎn)：
1、工作腔內(nèi)無任何介質(zhì)，可獲得潔凈真空
2、單臺(tái)泵可從大氣抽至1Pa，真空系統(tǒng)可大大簡化。
3、水溫對真空影響小，節(jié)水達(dá)90%以上，甚至可以不耗水。
4、結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便。
5、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環(huán)保壓力，氣體回收更便捷。
6、不耗油，無滴漏
7、旋轉(zhuǎn)部件間無摩擦，可高速運(yùn)轉(zhuǎn)，整機(jī)體積小
8、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層 ，可適應(yīng)惡劣工況
9、氣體在泵內(nèi)無壓縮，適宜抽取可凝性氣體
10、可與羅茨泵、分子泵組成無油機(jī)組
干式螺桿真空泵工作原理：
與螺桿式壓縮機(jī)類似，螺桿式干式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個(gè)過程。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán)，現(xiàn)在以其中一對齒來說明。
吸氣過程陽轉(zhuǎn)子按逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，陰螺桿按順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
壓縮過程轉(zhuǎn)于端面是排氣端面。在這里，陽轉(zhuǎn)子沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)于沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
排氣過程螺桿泵的排氣過程，齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出。
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